二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293766868 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P是一种用于半导体器件制造的自动蚀刻器/aser。该设备配备了自动涂层室、制冷剂盖、可编程磨料检测器、负载锁定臂系统等先进功能。TEL TE 8500 P利用先进的空气承载平台，对半导体器件的垫层提供精确的运动控制和稳定性。这样可以实现精确、可重复的结果,周期时间短,过程均匀性得到改善。TOKYO ELECTRON TE-8500 P在其蚀刻循环中具有三个阶段的过程，可以同时蚀刻多达八种不同的材料。第一阶段是一个预处理步骤，旨在清除可能干扰过程的污染物。第二阶段是一个抛光步骤，帮助实现所需的轮廓和表面光洁度。第三阶段是保护层蚀刻步骤，涂上坚硬的保护涂层，以保护装置免受外部磨损和腐蚀。TOKYO ELECTRON TE 8500P也因其自动涂层室而减少了操作误差和循环时间。该腔室防止涂层颗粒在蚀刻过程中逸出，并加快循环时间。腔室配有制冷剂盖，降低工艺温度，提供受控气氛，进一步确保均匀蚀刻效果。这些特性的结合提供了精确可靠的表面化学，减少了浪费，提高了产量。TE 8500 P还优化了温度控制，以保持整个基板的均匀温度。这样可以在整个过程中加快蚀刻周期和精确的质量控制。此外，该单元中的可编程磨料检测器可以精确控制磨料颗粒，降低基板损坏的风险。负载锁臂机最大限度地减少了基板与基板的接触，进一步降低了缺陷和损坏的风险。TOKYO ELECTRON TE 8500 P是一款先进的、工业级的蚀刻器/aser工具，旨在产生高质量、可重复的结果。通过结合先进的特点和精确的温度和精确的表面控制，这种资产提供了一个高效、可靠的蚀刻解决方桉。其先进的功能和自动化的流程使其能够保持超高的吞吐量，使其成为先进半导体器件制造商的热门选择。
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