二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #9412456 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P是用于半导体和其他工业应用的先进蚀刻器。它旨在提供高精度、可靠性和过程可重复性。TEL TE 8500 P以真空蚀刻设备为基础，具有平板载重锁和载重站。它配备了一个450mm的腔室，2.5英寸和4英寸的加工区和单一、双或四舱设计。它采用自动频率Control™和氧化物Assist™腔室清洗技术，以确保一贯的高吞吐量和处理均匀性。TOKYO ELECTRON TE-8500 P利用高精度光电子光学系统提高位置精度。还可以对每个舞台采用双位开/关设置实现自动化，以优化腔室性能和过程控制。此外，压力控制工艺提供了快速和可重复的蚀刻和沉积步骤。TOKYO ELECTRON TE 8500 P随TEL专有APT OPC交付。APT OPC是一个基于模型的光学接近校正，它允许最佳的光刻和蚀刻结果。它还能够以45nm或以下的分辨率运行,并且与各种配方兼容。蚀刻器具有符合人体工程学的控制系统,具有直观的图形用户界面和自动操作参数,可作为配方存储在数据库中。TE-8500 P可以进一步定制,以满足可重复使用的序列、文件流功能、插件模块和增强的OPC功能的生产要求。TEL TE-8500 P包括几个安全功能,包括过压安全互锁,可确保使用三级密码访问单元在可接受的压力之间进行过程操作。它还具有防止蚀刻工具污染的动态温度控制机和化学管理功能。总之，TOKYO ELECTRON TE 8500P Etcher是先进的半导体蚀刻应用的理想选择。它将高精度、可靠性和过程重复性与专门的蚀刻技术、直观的控制系统以及各种安全功能结合在一起，以实现优化的蚀刻过程。