二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PATC #9236832 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PATC 蚀刻器/asher是一个先进的模式平台，旨在为半导体行业的应用提供最高水平的过程控制和精度。该设备具有高通量、经济高效的平台,可灵活运行各种不同的蚀刻过程。该系统利用先进的干蚀刻技术，在小至0.13um的区域提供精确的图样。该单元包括五个核心子系统--等离子体控制、蚀刻室、高精度机械扫描仪、负载锁定机和真空工具。等离子体控制资产用于监测和控制等离子体参数，如离子密度、离子电子比、腔室压力和温度。蚀刻室被包裹在一个隔离的室内，以便提供一个清洁的工作环境。高精度机械扫描仪用于精确控制源和目标之间的静电场，从而实现精确的图样化。载荷锁定模型用于将基板从转移室快速转移到蚀刻室。最后，使用真空设备，确保整个装配密封、工作正常。该系统具有较高的自动化水平，可减少过程变量并提高吞吐量。每个基板都可以配置预定义的蚀刻参数，从而实现连续高效的蚀刻过程。该单元配备了嵌入式平台，集成了运动控制单元和核心过程算法，以确保每个过程步骤以一致性精确重复。机器还可以连接到粒子监视器、气体监视器、晶圆处理系统和负载锁等外围设备，从而可以融入工厂生产线，进一步提高生产率。TEL TE 8500PARTC工具的总成像面积为700 x 700毫米，是大型半导体器件的理想选择。该资产还具有99%的高可重复性,确保每转一圈都能生产出始终如一的高质量设备。基板可以配置为在任何方向和方向上蚀刻,自动过程控制可确保每次获得精确一致的结果。TEL TE 8500PATC 蚀刻器/asher是一种高级型号,旨在提供最高级别的精度和过程控制。它的高精度和可重复性，加上高吞吐量，使其成为半导体工业中复杂模式化过程的理想解决方桉。