二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #155452 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE是专门为高通量、精密蚀刻和灰化工艺而设计的蚀刻器/灰化器。它提供了卓越的精度，最大可达到的分辨率分别为1.02 µm和50 µm，用于蚀刻和灰化，使薄膜厚度更薄。该设备还能够处理各种材料，如氧化硅、氮化硅和氮化钛，从而能够制造小型化和高密度的装置。TEL TE 8500PE具有高达2500 sccm的高气体流速和存储在其内部内存中的多达四十四个高速配方程序，允许用户在不同配方之间快速编程和更改。TOKYO ELECTRON TE 8500 PE还具有强大的嵌入式计算机操作系统和用户友好的图形界面，使配方设置和参数调整变得容易。其他功能包括一个直到7KW的双阴极射频电源和一个实时数据收集的过程监控单元。TE 8500PE配备了一台自动盒式到盒式晶片传输机，一次可处理多达200个晶片，确保高通量和高精度的过程。此外,该工具还具有自动检出功能,可监视和调整工艺稳定性的配方参数。对温度、压力以及其他蚀刻和灰化参数的精确控制由闭环控制资产提供，使用户可以实现高重复性。伴随着过程控制，TOKYO ELECTRON TE 8500PE还配备了多重锁载机构和安全屏蔽等安全功能，以保护操作员免受辐射。蚀刻器/asher还具有自动清洁周期,并具有快速维护功能和优化的工业设计,从而降低了运营成本。TE 8500 PE是精密蚀刻和灰化工艺的理想蚀刻器/灰化器,提供卓越的精度和可重复性、高通量、广泛的工艺材料、强大的功能和安全功能。