二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #197617 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE是为半导体底物加工而设计的先进干蚀式蚀刻器/asher。该仪器用于薄膜在晶片表面的精确高分辨率沉积。该设备提供了良好的过程控制，并具有许多功能，旨在确保可重复的过程结果。TEL TE 8500PE进行高速蚀刻,几乎没有颗粒污染.该蚀刻器配有等离子体源和直接射频发生器，允许使用各种不同的蚀刻技术。对压力、功率、气流等参数的精确控制，使用户能够对关键过程结果进行指定，绝不妥协。采用高真空抽水系统在蚀刻过程中保持稳定和清洁的气氛。这是通过保持室内微粒和气体分子的低水平来实现的。除蚀刻外，TOKYO ELECTRON TE 8500 PE有能力对钛钨等材料进行干蚀刻。它也使得在过程中有可能沉积抗蚀剂或二氧化硅等化学成分，使表面除了蚀刻之外更加均匀。该单元非常适合深度、宽度和表面积控制的精度和可重复蚀刻。在安全和保护机制方面，TEL TE 8500 PE具有确保仪器安全运行的特点。以磁性屏蔽的形式存在辐射防护，保护使用者免受有害辐射。此外，机器还配有防污染过滤器，可防止灰尘或其他颗粒进入蚀刻器/灰烬室。这对于预防产品的潜在损害尤为重要。TOKYO ELECTRON TE 8500PE是生产高精度元件的理想蚀刻器。凭借其先进的特性和出色的工艺控制，它能够产生符合最高行业标准的可重复结果。该仪器还提供安全和污染控制的保证，以确保产品质量。