二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #293635445 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE 蚀刻器/asher是一种利用直流（DC）平面磁控管等离子体过程与物理气相沉积（PVD）相结合的最先进的蚀刻装置。这种高度先进的蚀刻器/灰化器用于等离子体蚀刻和薄膜沉积。该装置具有许多技术特点，比传统的蚀刻/沉积技术有几个优点。TEL TE 8500PE具有独特的双源设计,在蚀刻/沉积过程中具有很大的灵活性。它提供了使用各种气体的选项，例如氦气、氯气、氙气、氧气和氢气，从而在蚀刻和沉积过程中具有很大的多功能性。装置中强大的磁控管产生强烈而均匀的等离子体场，确保理想的蚀刻/沉积过程结果。此外,直流电源可以更好地控制蚀刻和沉积速率,从而实现高质量的蚀刻/沉积过程。以极高的沉积速率，TOKYO ELECTRON TE 8500 PE能够实现高覆盖度。这种先进的蚀刻器/灰化器有一个大的封闭腔室，其复杂的设计提供可靠的温度和压力控制，防止质量问题与蚀刻/沉积过程。此外，该装置还配备了吸力保险杠、光发射光谱和石英晶体监测等技术，能够进行质量控制。TE 8500 PE还采用了先进的安全环保技术，包括自动泄漏检测、碳过滤系统和真空疏散系统，使其成为大批量生产的绝佳选择。此外,该设备采用自动化维护系统进行设计,使设备易于维修和外部更新。综上所述，TE 8500PE蚀刻器是一种精密的蚀刻/沉积装置，为蚀刻和沉积提供了一种通用、可靠的工艺。其先进的特点使其成为大体积、均匀蚀刻和沉积的完美解决方桉。此外，强大的磁控管、大的封闭式腔室以及复杂的安全和维护特性使其成为任何蚀刻/沉积设施的理想设备。