二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #293643486 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE是一种蚀刻器（又称asher），用于从塑料、金属、陶瓷等多种基板上制造电气元件。TEL TE 8500PE装有一个500 mm x 500 mm的石英腔室，拥有一个高速基板运输设备，容量可达200晶圆/负载。该系统旨在提供超平滑和均匀的蚀刻工艺。TOKYO ELECTRON TE 8500 PE提供多种工艺能力，包括真空等离子体蚀刻（VPE）、反应性离子蚀刻（RIE）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、感应耦合等离子体（ICP）、原子层沉积。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PE配备了先进的工艺控制单元，以保证工艺稳定性。本机包括闭环温度控制工具、压力监测资产、过程压力控制模型、过程气流监测器以及用于控制过程压力、温度、气流的质量流量控制器。此外，TOKYO ELECTRON TE 8500PE包括用于分析过程和预测产量的内置软件。TEL TE 8500 PE还提供了广泛的可选功能和附件,以进一步增强其性能。这些附件包括用于为苛刻过程创建更强等离子体的射频发电机、用于支持暴露过程的石英曝光头、用于增强工艺选择性的额外工艺气源以及用于在暴露后定位样品的取样器。TE 8500PE是一种用途非常广泛的机器,当用于创建微处理器、晶体管和其他组件时,可提供可靠且可重复的结果。其先进的控制系统和广泛的可选功能选择使其成为市场上最受欢迎的蚀刻机之一。