二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #293643494 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE是一种用于半导体制造业的高性能、下一代蚀刻器/asher。它利用非工艺操作和自动化材料管理提供了卓越的工艺性能。TEL TE 8500PE拥有300毫米的大型蚀刻室，能够同时容纳多达8个晶圆。蚀刻器还提供对蚀刻参数的高度精确控制,包括蚀刻速率、水平、自由形状、蚀刻轮廓和均匀性,以及可选择的电阻率级别。TOKYO ELECTRON TE 8500 PE利用了最先进的化学气相沉积（CVD）技术，在蚀刻表面产生薄膜层。通过调节温度和压力，可以利用CVD工艺调节蚀刻工艺的化学反应性和选择性。这使TE 8500 PE能够创建结构极其精细且特征尺寸减小的模式。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PE也提供了广泛的工艺选择，有多种材料，包括低k、有机物、掺杂和具有CMP能力的工艺。蚀刻器还包括高级流程自动化功能,提供在线晶圆映射、OCR、产量监控和数据处理选项,使用户能够快速优化流程并提高总体生产率。TE 8500PE能够处理一系列不同的蚀刻化学物质，包括湿法和干法蚀刻工艺。它可以配置用于RIE（反应性离子蚀刻）和DRIE（深部反应性离子蚀刻）工艺,具有多种化学选择,这要归功于它的大型加热淋浴头、耐用的不锈钢腔室和可调节的工艺气体控制。TOKYO ELECTRON TE 8500PE专为易于使用和维护而设计。该系统具有用户友好的界面、显示和传感器以方便用户,以及一套板载自我诊断和维护实用程序,使用户能够快速排除故障并评估蚀刻结果。总体而言,TEL TE 8500 PE提供高精度蚀刻性能和过程灵活性。由于其先进的自动化功能和用户友好的设计,蚀刻器/asher非常适合一系列半导体制造应用。