二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #9158083 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE是一种将先进的等离子体处理与广泛的蚀刻/灰分能力相结合的蚀刻器/灰化器。此模型旨在提供卓越的处理质量,并降低停机时间和总体维护成本。该设备采用独特的边圆墙技术,可提高蚀刻的均匀性,并配有MFF™（多频发生器）,可确保一致的蚀刻/灰烬性能。TEL TE 8500PE 蚀刻器/asher配备了SoftCath™等离子体、EMC™电子束源和先进等离子体源传感器技术，与其他蚀刻器相比，具有更高的选择性和更高的蚀刻速率。该系统还具有多种配方支持、流程自动化、直观的用户界面以及保存自定义配置文件的功能。TOKYO ELECTRON TE 8500 PE蚀刻机/asher具有高真空单元和先进的气体输送机，可实现精确的气流控制。该工具具有高达700℃的最高工艺温度和高达30 eV的高离子能量,以实现最大的表面活化。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PE 蚀刻器/asher带有各种工艺监控选项，包括实时腔室监控、工艺条件的精确控制以及车载诊断。该资产还与来自TEL和其他制造商的其他蚀刻器/ashers系统和工艺室兼容。TE 8500 PE 蚀刻器/Asher具有所有这些功能,是需要高级蚀刻/灰烬功能且最小的停机时间和成本节省的组织的理想选择。