二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S ESC #9194482 待售
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ID: 9194482
优质的: 1996
Oxide etcher
Chamber
Wafer type: 8" Notch
Wafer loading type: Nomal
Processing type: Vacuum
Utility specifications:
Unit / Setting pressure
CDA (Air) / 6~8 Kg/Cm2
CF4 / 10~20 Kg/Cm2
He / 10~20 Kg/Cm2
Ar / 10~20 Kg/Cm2
CF4 / 10~20 Kg/Cm2
CHF3 / 10~20 Kg/Cm3
He / -
He / 10~20 Kg/Cm2
He / 10~20 Kg/Cm2
Main system:
Robot: Servo motor type
Valve: TYLAN GENERAL APC
Gage:
Maker / Model / Unit
TYLAN GENERAL / CML / 100 torr Pressure gauge
TYLAN GENERAL / CML / 100 torr Pressure gauge
TYLAN GENERAL / CML / 10 torr Pressure gauge
Gas flow control:
Maker / Model / Unit
STEC / SEC-4400 / 1000 SCCM MFC ( He )
STEC / SEC-4400 / 100 SCCM MFC ( N2 )
STEC / SEC-4400 / 1000 SCCM MFC ( Ar )
STEC / SEC-4400 / 200 SCCM MFC ( CF4 )
STEC / SEC-4400 / 100 SCCM MFC ( CHF3 )
Sub module:
Maker / Model / Unit
SEIKO SEIKI / MG-STPH600C / TMP Controller
SEIKO SEIKI / STP-H600Ci / TMP Controller
EDWARD / QDP80 / Dry pump
EDWARD / QDP81 / Dry pump
KOSAN / BCU-D152 / Chiller
RF Unit:
Make / Model / Description
OEM / - / Matcher
DAIHEN / MFT-20SA / Generator
DAIHEN / MFG-20SA / Power supply
DAIHEN / MFG-20SA3 / Volumcon't
Main power specifications: 3-Phase, 208 VAC, 60 A
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S ESC是TEL製造的高效能蚀刻器/asher。它是一种多室设备，由两个独立的腔室组成，一个用于蚀刻，一个用于灰化。这允许高吞吐量和低基板到基板的变化。该系统具有多项高级功能,可提供灵活性和易用性。8500S的蚀刻室包含一个包含氧气、氦气和氯气的三区源，用于优化各种材料的蚀刻。Asher腔室设计用于处理金属和介电层，通过提供对气体流动的精确控制水平。灰光机还提供了编程和控制任何灰光机操作的气流数量/比例的能力。在这两个腔室中,8500S都配备了可配置的蚀刻/灰化腔室和压板几何形状,可提供均匀且可重复的蚀刻/灰化性能。此外,该单元还具有用户友好的软件界面,可详细控制流程参数和配方开发。TEL TE 8500S ESC还具有先进的安全措施,如锁定操作和环境保护机器,可防止任何类型的事故并确保安全的环境。此外，该工具还具有自动错误检测和纠正功能，可减少发生过程和资产错误的机会。该8500S利用真空控制的大气环境来确保清洁、无污染物的蚀刻和灰化环境。该模型还具有气体喷射设备，允许引入自由基等外来气体或氯或氟等分子。TOKYO ELECTRON TE 8500S ESC是一款高度可靠的蚀刻器/asher,可为用户提供工业用途所必需的可靠性、速度和高性能。该腔室紧凑,易于与其他系统集成。8500S ESC具有自动错误检测、用户友好的软件和可配置的蚀刻/灰化室等高级功能,可提供高效、精确的蚀刻和灰化性能。
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