二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #293608636 待售
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ID: 293608636
优质的: 1996
Oxide etcher
Wafer type: Flat
Chuck type 1: Polymide
Chuck type 2: ESC
Cassette, 6"
Monitor type: LCD
Signal tower: PATLITE SLF-V (R / Y / G / B)
Wafer transfer module:
Transfer robot: Load lock 1, 2, 3 / 6" or 8"
Transfer robot motor: R-Motor, E-motor (L/L 1,2,3)
Transfer robot driver: R-Driver, E-driver (L/L 1,2,3)
Process module 1:
APC Valve: TYLAN MDV-108
APC Heater and heater controller: Heater type
DAIHEN MEM-20SA Matcher
DAIHEN MFT-20SB Power splitter
VACCUM GENERAL CMLA-11 C/M (Baratron): 10 Torr
B.P He Control (Edge):
C/M (Baratron): TYLAN CMLA-21 100 TORR
PCV Unit / He controller: AERA PV-104C
MFC: SEC-7440
SEIKO SEIKI STP-H600C-T107 TMP
GAP
DC HV Module
Gas module: P/C1
MFC / Gas1: O2 / 20 SCCM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas2: N2 / 100 SCCM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas3: AR / 2 SLM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas4: CF4 / 200 SLM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas5: CHF2 / 200 SCCM / STEC / SEC-7440
DAIHEN MFG-20SA P/C Power generator
LASEM TECH BCU-L152 Dual chiller
EDWARDS iQDP80 P/C Pump
EDWARDS iQDP80 L/L Pump
JOBIN YVON H-10VIS EPD
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S是一种最先进的蚀刻/ashere设备，常用于半导体生产过程。它利用先进的技术为蚀刻和灰化工艺提供高精度、精确度和速度。TEL TE 8500 （S）的创新设计允许高度自动化和精确的蚀刻和灰化过程。这是用各种设备来完成的，例如晶圆级监视摄像机和特殊类型的蚀刻/ashers代理。此外,该系统可以远程操作,并且可以编程以快速、准确地执行不同的蚀刻/分离器过程,而只需很少的人工输入。此外，该工艺的真空蚀刻/灰烬工艺效率很高，减少了基材的损坏，提高了蚀刻的均匀性。该机还配备了一系列传感器，如总压力表、O2含量传感器、薄膜厚度监控器，可以进行精确准确的过程监控。此外,该机组设计方便维护,减少了生产线的停机时间.TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）能够使用广泛的材料，如多晶硅和氧化硅、双极、CMOS和模拟设备，从而为生产线提供更大的通用性。它还可以在一定的直径范围内工作，例如200毫米、300毫米和450mm尺寸，以及提供一系列晶圆载波，从2英寸到8英寸方形晶圆。在过程控制方面,TE 8500 （S）提供了广泛的选项,例如改进的过程控制和有限的监控。该机还在设计时考虑了用户安全，可以激活某些安全功能，如安全前线，以保护操作员免受环境危害。TE 8500 （S） 蚀刻/ashere工具是任何生产线的可靠而灵活的解决方桉,提供了一系列难以匹配的功能和功能。其先进的设计为各种不同的蚀刻和灰化工艺提供了高标准的精度、速度和精度。它的远程操作、自动化过程控制和用户友好的设计使其成为任何生产线的高效工具。
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