二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #293643118 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S 蚀刻器/asher是一种先进的蚀刻/灰分设备，用于各种蚀刻和灰分工艺。它是一个静态的过程改变系统，能够调整蚀刻和灰化过程参数，以适应客户的特定需求。该单元能够进行低温、高分辨率的蚀刻和灰化处理,以及复杂的多步骤处理,并且可以使用多种材料。TEL TE 8500 （S）具有包括烤箱、输送机、负载锁、加工室和晶圆转换机在内的紧凑设计。它还包括两个原位灰化工艺室，每个室能够在并行配置中独立运行，从而能够精确控制蚀刻/灰分工艺参数，满足各种蚀刻和灰分要求。该工艺室具有处理20英寸晶片的能力，最大压力为220 m Torr，温度可达180℃。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）配备了先进的自动调谐工具，使用户能够轻松调整流程设置。它还具有用户可选择的气体分配控制资产,允许精确的过程参数,以及用于控制蚀刻/灰烬过程的高级监控模型。还包括ESD检测、超压防护、有毒气体泄漏监控等多项安全功能，确保安全运行。除了精密的设备设计外，TE 8500S还备有一系列先进的工艺软件。其Process Chemist软件允许用户根据需要定制和微调流程配方，而其Process Commander软件则允许用户以各种方式控制系统参数。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）也与SIEMENS和Agilent AssetView系统兼容，使用户可以轻松跟踪和分析单位数据。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）提供多种特性和功能,使其成为各种蚀刻和灰化工艺的多功能蚀刻器/灰化器。其先进的机器设计、安全特性和一系列的加工软件使其成为任何蚀刻和灰化应用的理想选择。