二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #293811570 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S是一种用于创建集成电路的蚀刻器/asher，用于广泛的行业和应用。蚀刻器/粉碎器是制造过程中的关键部分，用于从硅片或玻璃基板创建精确的电路。它利用电磁能从基板上去除材料，从而对电路的几何形状、厚度和其他特征进行极其精确的控制。TEL TE 8500 （S）具有一个能量束源,能够以小至30微米的光斑大小提供高达2200瓦的功率。这使用户能够以亚微米精度蚀刻特征，并能够实现远低于光波长的线宽。该源提供了从20到150kHz的广泛工作频率，并且可以在低至25 mTorr的真空压力下工作。提供了气动驱动压力级，使用户能够将基板平整地对准晶圆表面。这允许有聚焦的激光束和更精确的蚀刻。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）还设有专利的可调焦导轨，使用户可以调节激光束的焦点。这与316不锈钢腔室具有极好的耐腐蚀耐磨设计。TE 8500 （S）具有多合一的设计，具有高精度的旋转和升降台、数字显示和键盘输入以及触摸敏感操作。包括一个内置的安全系统，具有紧急停止和互锁功能，以及自动关闭和空气冷却系统。TOKYO ELECTRON TE 8500S设计用于处理广泛的应用,从晶圆/基板蚀刻/灰化到工具制造和研发。其优越的精确度和可靠的安全特性使其成为制造集成电路的完美蚀刻器。