二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #9148390 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S是一种先进的蚀刻和灰化系统，设计用于一次处理多达150个晶圆。它具有独立等离子体加工室、三维加工室运动能力以及广泛的蚀刻和灰化技术的灵活架构。该设备采用单片和双面加工，具有高精度的势能控制和高质量的过程监测。该系统采用低噪声、高功率RF和直流电源以及先进的自动调节技术,能够提供卓越的可重复性和均匀性。它提供超高蚀刻分辨率和精确的逐级蚀刻或逐级蚀刻控制,并在在线和离线模式下进行实时蚀刻和灰化监控。该单元可以在广泛的晶圆尺寸和配置中实现可重复的结果。TEL TE 8500 （S）还具有自动基板识别以及精确的三维托盘运动和定位功能,可实现最大的灵活性。它提供了过度蚀刻保护、快速蚀刻控制、快速停止控制等先进蚀刻管理功能，确保了精细基板的安全加工。这台机器的创新工艺均匀性监测器能够在整个晶圆区域实现均匀的等离子体蚀刻。此外，TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）提供了对蚀刻、灰化和沉积过程的精确控制，并提供了先进的基板清洁和去镶板功能。它利用先进的工艺室加热和冷却来优化蚀刻性能。最后,它包括一个强大的配方语言,允许动态过程参数调整.凭借其先进的特性和功能，TE 8500 （S）是一次最多150个晶圆的高精度批处理的理想蚀刻和灰化系统。它能够以高精度和高精度实现可重复的结果。