二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #9269148 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S是一种蚀刻器/asher，设计用于制造由硅片、石英、结晶材料等材料制成的各类基板。配备高精度控制设备和高通量等离子体源。该系统能够以高精度加工基板，提供优异的蚀刻效果。它配备了一个多气体流量控制器和一个多区域工艺室，可以在所有目标条件下实现准确、高质量的蚀刻工艺。它还采用集成闭环控制单元和高精度温度传感器进行设计，以确保过程的稳定性和均匀性。此外,TEL TE 8500 （S）还提供了超高分辨率阵列处理功能,可提高阵列保真度和选择性。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）具有高分辨率的等离子体源，具有高密度的离子能，有助于创建统一的蚀刻模式。它还有一个晶圆级加热机，方便更高的附着率和更好的形成模式。利用高密度离子束结合直流和射频效应，实现了厚度和电阻率均匀层的精确沉积。此外,TEL TE 8500 （S）采用自动晶圆传输工具设计,可在不影响工艺稳定性的情况下快速准确地装载和卸载基板。它配备了高性能的自动室内清洁设备，可确保高效的维护和清洁周期。它支持多种底物的各种化学和自动化机会。TE 8500S具有优异的蚀刻性能,适用于半导体器件的制造和研究.它也是医疗、汽车、航空航天和纳米材料薄膜沉积和蚀刻工艺的理想工具。