二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #9316073 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S是一种先进的半导体蚀刻器/灰化器,旨在提供卓越的精度和生产率。这种蚀刻器/灰化器适用于各种各样的过程，包括退火、化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、溅射和离子束蚀刻。它具有高速晶片传输、多步配方控制、自动端点检测、低背面蚀刻和高精度剂量控制等特点。TEL TE 8500 （S）具有强大的真空室，有效控制隔离或深蚀刻等多种蚀刻工艺的工艺条件。该蚀刻器/asher利用Magnetron型高频逆变器电源提供优越且更均匀的离子束蚀刻性能。它还具有种类繁多的源气体喷射器，用于均匀、清洁的蚀刻，表面粗糙度低。此蚀刻器/asher能够在一次运行中处理尺寸不超过8英寸的晶片。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）具有直观的图形用户界面（GUI），以方便日常操作和维护。它还具有可视化检查系统（VIS）,可帮助监控处理步骤。此外，这种蚀刻器/asher有一个紧急停止系统和多个安全系统，以保证用户和设备的安全。它还提供了一个非常稳定的电源，具有动态波形控制，以实现更精确的剂量控制。TEL TE 8500 （S）由于其双级阀门技术，为蚀刻工艺参数提供了高精度和重复性。它还利用先进的脉冲模式识别提供即时和自动调整的理想蚀刻轮廓。这使得蚀刻器能够产生极高的产量和可靠性的过程结果。总体而言,TE 8500 （S）是一款顶级蚀刻器/asher,可提供卓越的精度和工作效率。它非常适合用于需要高精度和重复性的半导体研发和生产过程。它具有强大的真空室和先进的采购气体喷射器、多种安全系统、图形用户界面和视觉检查系统（VIS）。它还配备了自动端点检测和动态波形控制，用于极精确的剂量控制。