二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500SA TCESC #197618 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500SA TCESC
ID: 197618
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Oxide etcher, 8" Chamber 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500SA TCESC是一种蚀刻设备,用于在微米级和纳米级上以极高的精度对结构进行图样和成型。它具有高精度的扫描电子显微镜设计,可创建小至7纳米的特征。此功能允许用户创建到单个原子分辨率级别的结构。TEL TE 8500SA TCESC蚀刻系统利用扫描电子束技术,以亚微米精度引导电子在一系列材料中蚀刻复杂的结构。可以加工的材料包括石英、硅、玻璃和金属。该装置采用高分辨率质谱仪,能够准确检测样品的成分,以监测蚀刻过程。使用质谱仪,机器可以精确识别样品中存在的任何物质。此功能允许蚀刻工具自动将蚀刻过程调整为样品的组成,从而确保在整个生产过程中结果一致。此外,TOKYO ELECTRON TE 8500SA TCESC蚀刻资产还配备了独特的"实时"运动控制模型。这种运动控制设备使用户能够精确控制结构的大小、形状和纹理。例如,可以以极高的精度创建纳米掩码,并且可以随时调整所需的操作,如蚀刻时间,从而确保Etch程序得到精确和可重复的优化。TE 8500SA TCESC蚀刻系统还具有热耦合净化气箱。这一特性使使用者能够轻松可靠地调节各种净化气体的压力和溷合物水平,其中包括​​的氙气、氮气和氧气。蚀刻过程还利用化学过程,使用户能够进行广泛的蚀刻过程。最后,TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500SA TCESC蚀刻单元为研发目的提供了理想的平台。它的高精度和多功能性使用户能够准确可靠地为一系列项目和应用程序生成所需的结构。此外,它的人性化设计确保了机器易于操作和维护。
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