二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8501 #293608640 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8501是一种利用先进等离子体蚀刻技术的蚀刻器/asher设备。该系统提供令人印象深刻的等离子体蚀刻精度,这在蚀刻半导体晶片时尤为重要。这个单元有一个集成的电子回旋共振(ECR)源,通过射频(RF)波产生等离子体。ECR源创建了高质量和高度均匀的等离子体,非常适合需要高精度的半导体蚀刻等应用。此外,TEL TE 8501有一个强大的数字反馈控制机器,可用于精确控制等离子体蚀刻过程。TOKYO ELECTRON TE 8501还配备了功能强大的工艺监控工具(PMC-S),帮助用户轻松监控和调整蚀刻参数。它有助于最大限度地提高蚀刻性能,使用户能够获得所需的蚀刻结果。PMC-S资产具有可选的数据记录功能,可以跟踪蚀刻参数和性能。它还提供了可自定义的配方,可以帮助用户自动化流程参数。最后,TE 8501是一种高度可靠的蚀刻工具。它有一个自动化的维护模型,可以提高性能,减少维护,并增加设备的寿命。它配备了先进的安全功能,保护用户免受任何蚀刻工艺相关的物理和化学危害。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON TE 8501对于需要精确可靠的蚀刻系统的用户来说是一个极好的蚀刻选项。其先进的等离子体蚀刻功能和可定制的参数设置有助于取得优异的蚀刻效果。此外,其坚固的结构和自动化的维护功能有助于保持设备长时间有效运行。
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