二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8501 #9396122 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8501是一款先进的蚀刻/asher设备，设计用于在单个系统中执行多种蚀刻和沉积过程。该单元使用基于效果的工具来精确控制蚀刻或沉积过程，允许用户以经济高效的方式实现可重复的结果。该机器的设计目的是在半导体晶圆、光掩模、MEMS和纳米级结构等基板上提供出色的蚀刻和沉积结果均匀性。该工具具有先进的多阶段蚀刻/沉积室，使其能够提供广泛的蚀刻和沉积过程。资产还配备了实时端点监控工具、多轨模式、阵列晶圆生产支持等几项先进功能。该模型利用等离子体、惰性气体和射频功率的多个来源进行各种蚀刻和沉积过程。该设备进一步配备了高速灰光机，用于高通量应用。它能够提供高通量的蚀刻/沉积过程,使用户能够快速高效地执行其应用程序。该系统还提供高级功能,例如自动化过程控制单元,允许在过程中进行最少的操作员交互。该机器的设计目的是在广泛的蚀刻和沉积应用中提供高性能的结果。它还被设计为与大量的加工气体兼容，并且能够使用各种晶圆尺寸。该工具包括基于计算机的触摸屏用户界面，以及用于远程控制的局域网/广域网界面。最后,该资产旨在为用户提供最大的生产效率和最低限度的维护。