二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K #293638696 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K是一种蚀刻器/asher,可提供不折不扣的准确性、可重复性和吞吐量,用于关键设备处理。这种蚀刻器是一种高度自动化、快速、多站的设备,专为量产半导体器件的卓越性能而设计。TEL FORMULA ALD High-K拥有专利的超窄各向异性溅射传输工艺和双束高通量蚀刻器,可提供最高精度、重复性和顶级通量。该系统的分布式计算体系结构提供了灵活的刀具出厂环境,在响应速度、吞吐量和成本方面是平衡的。设备处理引擎的专有设计为用户提供了高水平的控制，以及以最广泛的流程组合定制流程配方的能力。该机还支持多种基材格式，包括200毫米和300毫米晶圆。借助ALD High-K,工程师可以自由地制作独特的性能配置文件,而不会牺牲精度、吞吐量、可重复性或稳定性,这要归功于该工具的大规模并行体系结构。ALD High-K兼容各种措施的环境控制惯例，整合各种晶圆类型和尺寸以获得优化的处理体验，并以多核处理架构为动力。ALD High-K的运输和处理资产可以实现从表面制备到沉积的最深过程集成。自动化过程最大限度地减少了基板处理造成的延迟和中断,同时显着提高了吞吐量、准确性和可重复性。该模型的特殊平衡控制减少了受干扰的基板的机会。利用ALD High-K,工程师可以以更高的精度和吞吐量处理几纳米厚或更厚的层。总之，TOKYO ELECTRON TEL/TOKYO ELECTRON FORMUM ALD High-K是一种精确度、重复性和通量无与伦比的蚀刻器/灰化器。此设备具有灵活性,能够通过无与伦比的控制定制配方,从而确保卓越的设备处理和最高的生产效率。