二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K #9149552 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K是一种蚀刻器/asher，设计用来蚀刻多种半导体材料，包括介电材料、金属和合金。该机器是一种紧凑、独立的蚀刻设备，提供晶片或批量蚀刻工艺的灵活性。它采用集成的石英晶体微平衡技术对晶片上的蚀刻工艺进行超精度测量，并对晶片材料进行光学端点检测。TEL TELFORFORMULA ALD High-K提供了先进的工艺控制,具有广泛的工艺参数,包括先进的功率控制、热氧化速率、蚀刻速率、蚀刻气体成分和气体压力控制。该系统还为多个进程提供了用户友好的图形用户界面（GUI）和基于群集的高级群集控制。该装置采用线性同轴射频发生器，使其能够以最小的横向损伤将材料蚀刻到精确的深度。此功能提供了更高的一致性和更好的成像结果。该装置还提供精确的薄膜沉积，以产生具有量身定制的电性能的层，并配有一套综合工具，以方便光学光刻的实施。机器的加工气源允许用户控制蚀刻速率，并为选定的工艺选择最适合的气体。它还配备了射频偏置控制单元，为蚀刻过程提供最优离子能量。TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K的工艺室也提供可调节的温度和压力控制，以确保工艺的一致性。此外,该机器还采用了获得专利的热力增长机器,以最大程度地减少短期颗粒产生,并确保高水平的过程一致性。TELFORMULA ALD High-K还提供了一个自动化的晶片装卸工具，便于操作，一个基于计算机的软件包用于过程模拟，以及一个模块化设计，方便工具升级和可扩展性。该机器采用全面且易于使用的软件包,设计为可与多种基板配合使用,是各种工业和消费电子应用的理想选择。TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K提供高性能、灵活性和准确性,是高级蚀刻应用的理想选择。