二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K #9311152 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K是一款蚀刻器/asher，专为先进的包装工艺、晶圆级制造、光刻而设计，在高长宽比基板上实现超高分辨率和优越的图样。该蚀刻器采用双枪蚀刻设备，由先进的脉冲电子束枪提供动力，能够更快地进行入射束扫描，更好地控制离子束相位比。它具有先进的垂直基板温度控制，允许在广泛的基板上精确蚀刻。蚀刻过程由惰性气体气氛辅助，为高k材料提供更高的蚀刻选择性。此外，该蚀刻器具有独特的电子束聚焦能力，可确保均匀的覆盖范围，为透晶圆通孔和触点提供出色的阵列。它非常适合需要在大面积范围内统一覆盖的应用程序。此外,它在蚀刻表面上提供出色的边缘平滑度和钝化特性,而无需使用掩模或抗蚀剂。该蚀刻器采用涡轮泵系统，可快速疏散蚀刻室，从而增加吞吐量，减少停机时间。该装置还具有先进的冷却机，以确保蚀刻过程中基板的温度均匀。冷却工具还通过减少基板载荷来降低蚀刻所需的电功率。蚀刻器能够加工多种材料，如金属、氧化物、氮化物和聚合物。它具有先进的数据采集和处理资产,允许与数字库轻松通信,并为用户提供全面的蚀刻和退火过程控制。该模型与大多数主要CAD软件包兼容,可在Windows和Linux操作系统上运行。综上所述，TEL TELFORMULA ALD High-K是一种蚀刻器/Asher，设计用于高级包装工艺的蚀刻和图案制作、晶圆级的制造和光刻，以实现高长宽比基板的超高分辨率。配备先进的双枪蚀刻设备、惰性气体气氛、冷却系统、涡轮泵机。该计算机与CAD软件包兼容,可在Windows和Linux操作系统上运行,因此非常适合各种应用程序。