二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA #9251689 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA
ID: 9251689
晶圆大小: 12"
优质的: 2015
LPCVD furnace, 12" 2015 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA是一种先进的蚀刻器,又称asher,用于半导体工业中,用于高性能介电蚀刻。它提供了优越的均匀性和高选择性在广泛的材料。此高性能蚀刻器能够为单层和多层工艺及材料提供精确的蚀刻结果。TEL TELFORFORMULA蚀刻器采用先进的设计,提供高效的蚀刻工艺,具有严格的公差和卓越的定时精度。蚀刻系统配备了高温、高性能的氧化亚铁蚀刻靶标,在高达1000 °C的温度下运行。该蚀刻器有一个集成的湿蚀刻系统,用于原位和异位蚀刻过程。TOKYO ELECTRON TELFORMULA蚀刻器提供出色的底物处理、微调的过程控制和精确的环境监测。该蚀刻器还具有精确的体积测量能力,使其能够精确控制各种薄膜的沉积参数。此外,TELFORMULA蚀刻器还配备了高精度、可编程的数字控制系统,提供高效、精确的表面蚀刻速率控制。TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA蚀刻器的设计具有强大的诊断功能,可为客户提供实时流程和操作数据。此信息允许客户优化其蚀刻过程,同时保持最高级别的控制和准确性。该蚀刻器还与下游计量设备集成,用于自动收集关键过程数据。TEL TELFORFORMULA蚀刻器是电子工业中精密蚀刻应用的可靠且经济高效的解决方桉。该蚀刻器使客户能够以卓越的精度、均匀性和卓越的可靠性实现高精度的蚀刻过程。此蚀刻器提供卓越的性能,具有先进的技术和随着客户需求增长而扩展的能力。
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