二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Anneal #293822430 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY退火是蚀刻器/灰烬的一种，专门用于硅片、石英和玻璃板等基板的化学退火处理。这种蚀刻器/asher是专门为这种处理而设计的，它产生了一种具有精确温度控制的低温退火工艺。TEL TELINDY退火配置为在与蚀刻器/asher集成的单个平台上使用润湿工艺对单个基板进行退火。TOKYO ELECTRON TELINDY Anneal是一款桌面式的蚀刻器/asher，尺寸为630mm宽，549mm深，794mm高。它具有高达350°C的外部控制温度范围，总重量为70kg。此外,此蚀刻器/asher还具有一个带有8英寸液晶屏和膜开关面板的控制器,可用于自我诊断和处理状态。这种蚀刻器/灰化器适用于多种润湿过程，如化学气相沉积、物理气相沉积、电镀和蚀刻。可用于对硅、石英、玻璃、陶瓷、氧化硅、铝、不锈钢等不同材料进行退火。它还有一个内置的氧化控制系统，使它能够同时运行多个氧化过程，同时保持理想的退火环境。它还包括了广泛的压花、水性半导体加工和最高精度的蚀刻工艺，从而允许蚀刻和氧化工艺之间的重迭。这可以为用户节省时间和节省成本,因为它通过减少每晶圆的总时间来支持更快的退火过程。此外，TELINDY退火利用传感器技术进行集成，检测温度波动，提供准确的实时反馈，防止过热。这样可以确保保持最佳工作温度和高质量退火效果。它还附有性能证书,并利用可根据特定需求进行调整的可自定义设置。总之，TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY退火是一种高效多用途的蚀刻器/灰化器，设计用于各种底物的精确退火处理。它具有广泛的功能，包括温度和湿度控制、氧化控制、压花、蚀刻和水性半导体加工。它的传感器技术和实时反馈还有助于保持最佳工作温度以获得最佳效果。