二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY B #293763014 待售
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ID: 293763014
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Vertical furnace, 12"
Process: HIK
Power supply: 120 V, Single phase / 480V, 3 Phase
2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY B是一种蚀刻器(又称asher),用于多种制造环境,用途多样。该机是一种先进的批量加工设备,设计用于处理大小体积的晶片,精度非常高。该系统非常适合半导体技术,包括但不限于光刻、薄膜加工以及介电和绝缘层。TEL TELINDY B单元能够从平面或曲面处理多种类型的晶圆材料。它有两个独立的精密蚀刻罐,每一个都有独立控制的蚀刻速度。蚀刻罐的底部含有大直径的浸入式加热器元件,在整个过程中提供恒定的温度。储罐具有耐化学性,安全储存多容器蚀刻剂,使机器高效安全。精确的温度控制可以精确地切割出具有狭窄线条和特征的较小截面。为了保证蚀刻图样的准确性,该工具配备了一个特殊的软件控制器,允许用户监控、分析和调整晶圆参数。这允许微调和控制蚀刻过程,确保最高质量的结果。除了控制气体密度、功率、深度等参数外,软件还提供蚀刻图桉质量信息。由于其先进的保护功能,该资产也非常可靠可靠。它配备了温度监测仪和一个PH表,用于检查化学成分的变化以及泄漏探测器。所有这些对于防止潜在危险情况和延长模型的使用寿命至关重要。TOKYO ELECTRON TELINDY B Etcher是一款经济高效、可靠、精确的解决方桉,可满足各种蚀刻需求。其先进的特点和安全机制使其成为小型和大型生产运行的绝佳选择。
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