二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY B #293818325 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY B是一款高性能蚀刻工具，旨在提供卓越的蚀刻速率均匀性、高速度和出色的重复性。它非常适合广泛的等离子体蚀刻和干蚀刻应用。TEL TELINDY B利用TEL原始TELINDY处理的改良版，以更高的吞吐量产生优越的蚀刻速率均匀性。该工艺室利用TELINDY技术，确保整个腔室均匀的材料处理，以实现高效的蚀刻性能。它也保证了稳定的等离子体密度，无论处理时间和流量。TOKYO ELECTRON TELINDY B还包括一个高性能的等离子体来源进行蚀刻。它提供了更高的吞吐量和更快的处理时间,同时保持了较高的精度。高功率等离子体源允许在蚀刻复杂形状时改进掩模对准，并提供高精度蚀刻。TELINDY B还具有先进的智能控制系统,用于精确的过程调整和可重复性。它能够实时控制蚀刻工艺的参数，便于每个特定工艺的工艺优化和优化。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY B可用于湿蚀刻、等离子体蚀刻等高性能蚀刻应用。适合于蚀刻硅、氮化零、硅化铂等材料，用于要求高精度蚀刻的高度复杂的应用。操作方便，直观的控制系统允许简化流程优化。通用的TEL TELINDY B还附带可选组件,可以安装这些组件以增强其蚀刻功能。模块化斜头组件提供了更好的遮罩对准精度,而头加热器则不需要预先蚀刻的遮罩,并且在复杂的层上提供均匀的蚀刻深度。此外,高级自动聚焦功能可确保光束在蚀刻过程中保持聚焦和稳定。TOKYO ELECTRON TELINDY B被设计用于多种行业，如半导体制造、电介质、光电子和MEMS/NEMS。它是蚀刻精密电子器件的理想选择。其出色的可重复性、高速和高精度性能,可实现可靠且经济高效的结果。