二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY IRAD ALD Oxide #9294226 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY IRAD ALD Oxide是一个先进的干蚀刻平台，适用于先进的ICs装置制造。它结合了传统的蚀刻和先进的氧化技术，为在各种材料上制造复杂结构提供精确的蚀刻解决方桉。蚀刻器由两个相邻的工作室组成，两个工作室均在真空下：下部工作室为蚀刻室，上部工作室为氧化室。蚀刻室包含两个独立的磁控管，用于输送蚀刻气体和产生高密度等离子体。该腔室因其超高密度，可用于蚀刻金属、有机材料、电介质等材料。蚀刻速率准确，从样品到样品都可重复。氧化室利用原子层沉积（ALD）在任何选定区域上创建一层氧化物。沉积材料可以量身定制，以适合所需的保护水平以及特定的基材。ALD tophat功能还可确保蚀刻区域的均匀性。TEL TELINDY IRAD ALD Oxide 蚀刻器/Asher还具有晶圆取向、基板加热和冷却、蚀刻型材测量、工艺重复性等多种工艺。其软件界面集成了配方管理功能，确保了与每个流程的安全性和兼容性。它是一种可靠、坚固的工具,对所有必要的参数进行了惊人的精确控制。TOKYO ELECTRON TELINDY IRAD ALD Oxide蚀刻机/Asher中使用的ALD氧化蚀刻技术使其成为高精度蚀刻沉积的理想工具。它非常方便用户，并提供先进的调平技术，以确保重复和准确的蚀刻和沉积。它可以用于金属、有机材料、电介质等多种基材，其先进的功能集使其成为设备制造的绝佳工具。