二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Nitride #9219405 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Nitride （TELINDY）是一种为了沉积氧化物、氮化物或金属金属间薄膜而设计的蚀刻器/灰化器。它是一种通用的工具，可用于创建多种温度较高的集成电路组件。TEL TELINDY氮化物设备提供自动化处理和可编程配方控制。它配有一整套特性和附件，包括一个专有炉、一个高真空系统、一个射频或直流供电的等离子体源，以及最多两个双气模源。功能丰富的单元可以在高度精确的控制下处理四分之一至半微米厚的薄膜层，生产出一贯高质量的薄膜。TELINDY机内的炉可加热至1200 °C,最大功率为3.2kW。它有一个扩大的加热空间和一个可调的磁感器以及一个集成的基板支架，以便更好的沉积效率。该工具还配备了能够达到3x10-7 Torr基本压力的高真空资产。等离子体源用于在薄膜沉积之前提供干净的碱性蚀刻。法拉第笼或静电卡盘等装置可用于控制等离子体活动。此型号由高达500瓦的射频或高达1200瓦的直流供电。双气模源具有多种气体类型，包括Ar、H2O2、O2、SiH4和CH4，同时进行栅极氧化物蚀刻和沉积。TELINDY设备可靠、精确、高效。其先进的物理气相沉积（PVD）技术得到了优化，以确保一种高质量的氮化物薄膜用于切削边缘的IC组件。该系统的特点使其成为集成电路行业中最受欢迎的蚀刻/灰度系统之一。