二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9194459 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide是一种高度通用的蚀刻和灰化设备,能够在潮湿和干燥的环境中运行。TEL TELINDY Oxide设计用于处理多种工艺应用，如氧化物蚀刻、氧化物灰化和平面化。TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide system features a full automated unit for efficient teting and ashing process它的自动化特性，加上强大的热等离子体源和高效的气体输送机，使得TELINDY氧化物工具非常适合各种生产情况和应用。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide Tetcher/asher提供完整的工艺灵活性,包括高蚀刻速率、低温操作和长蚀刻时间。TEL TELINDY Oxide资产被编程为蚀刻,并使用各种流程参数,使用户能够根据自己的特定需求自定义流程条件。氧化物模型能够将干燥蚀刻温度控制在1500°C以上，并能够以各向异性、各向同性或超选择性蚀刻速率产生高质量的结果。氧化物设备还结合了先进的等离子体源和气体输送系统，以创建高效的蚀刻工艺。TOKYO ELECTRON TELINDY氧化物装置为蚀刻和灰化工艺提供了广泛的支持技术。其特点是获得专利的电动气体扫描技术,用于控制蚀刻过程中的气体分散.此外，它的等离子体源包含多个专门的墨盒，这些墨盒被设计用来产生高质量的蚀刻和灰化。最后，它的高速晶片传输组件提供快速晶片负载/卸载吞吐量以及热水器调节温度和精确的气流控制，专门供暖制冷。TELINDY氧化机还具有先进的工艺监控工具,能够实时监控蚀刻和灰化过程中的工艺参数。该资产具有逐个晶片的工艺控制功能,可改进工艺优化、提高产量和提高性能。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide模型在蚀刻和灰化过程中提供卓越的性能、可靠性和价值。具有成本效益和高效率的氧化物设备非常适合在薄膜蚀刻和灰化方面的准确性和一致性至关重要的应用。凭借先进的工艺控制功能,TEL TELINDY Oxide系统提供了当今业界最有效、最精确的蚀刻和灰化技术。