二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9196076 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide是一种蚀刻器/asher，用于从半导体基材和晶圆等材料表面蚀刻或灰化金属氧化物层。它由主加工室和反应室两个室组成。主加工室设有电子回旋共振（ECR）等离子体源。该源负责生成ECR驱动的等离子体，然后用于执行蚀刻和灰化过程。反应室有与ECR源结合使用的感应耦合等离子体（ICP）源的改良版。这种双源配置实现了高度精确和高效的干蚀刻过程。ECR和ICP源产生一个离子和自由基的RF等离子体，由引入加工室的氧气、氙气和其他气体的溷合物形成。这种等离子体随后被用来从像半导体晶片这样的基板表面蚀刻或粉碎金属氧化物层。一旦消除了氧化层，就提高了层的质量和最终产品的质量。蚀刻/灰化的深度和速率是可调的，可以通过改变加工室内的压力、功率和气体溷合物来微调。TEL TELINDY氧化物是一种高效可靠的蚀刻器/灰化器，能够在纳米和微观水平上处理各种材料。适用于金属、陶瓷和半导体材料。其底物缺陷密度低，通量高，表面质量优越。它可用于薄或操纵厚度在50至500 µm之间的晶片，对于制造3D堆叠内存设备特别有用。TOKYO ELECTRON TELINDY氧化物具有多种操作和工艺保护的安全特性。其中包括可监控操作状态的突破点保护、键盘和警报系统、超压保护以及用于监控处理室温度的彩色热成像摄像头。简而言之,TELINDY Oxide是一种高效、可靠且用途广泛的蚀刻器/Asher,能够处理纳米和微观级别的各种材料。它提供安全、精确和高效,并且与众多的工艺配方和材料兼容。