二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9233211 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide是一种蚀刻器/asher，用于不同行业的多种蚀刻工艺。它是气相蚀刻器和电化学灰化器的组合，使得它具有高度的通用性。TEL TELINDY氧化物能够进行广泛的调制和过程控制。它具有很高的效率，可以处理微电子工业中光刻剂的选择性沉积和epi层的激光烧蚀等蚀刻过程。该设备能够实现200 nm的蚀刻间隙,其蚀刻速率高达80 nm/min。TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide有几个独特的特性，使得它非常适合在微电子学中使用。它具有低温热氧化系统，允许在蚀刻过程中进行精确的温度控制。这种低温能力降低了过热的风险，从而提高了工艺稳定性。该装置还具有统一的蚀刻深度控制能力。这会导致更高的蚀刻均匀性,这有助于最大程度地减少特征大小的变化。它还具有主动射频清洗和溅射功能，这对于减少粒子生成至关重要。该装置还能够精确蚀刻高长宽比结构。这对于需要深层蚀刻的各种蚀刻工艺很重要，例如在生产微型病毒时。TELINDY氧化物是一种可靠高效的工具，可用于从消费电子到生物医学设备的各种蚀刻应用。其气相蚀刻和电化学灰化相结合，是精密蚀刻复杂结构的理想选择。此外，其主动射频清洗和溅射能力大大降低了产生颗粒的风险。