二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9233213 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide
ID: 9233213
晶圆大小: 12"
Vertical LPCVD furnace, 12".
TEL(TOKYO ELECTRON)TEL/TOKYO ELECTRON TELONDY TELINDY Oxide是TEL/TOKYO ELECTRON开发的一种蚀刻器/asher设备,用于生产高品质的薄膜沉积物和复杂的多层结构。该系统利用化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术将材料沉积到硅片上。这使得它适用于制造尖端半导体器件和用于小型化和精密器件工程的仪器。TEL TELINDY氧化物具有干蚀能力,能精确控制流速和气体等工艺参数。这些参数决定了蚀刻工艺的轮廓和产生的薄膜厚度。该机组装有一个4英寸的反作用室,允许沉积更大面积的硅片组件。此外,该机还具有高精度的两级蚀刻能力.第一阶段是基底蚀刻工艺,用于创建组件的基本结构和形状,第二阶段是顶部蚀刻工艺,以细化细节。使用TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide的蚀刻是非常精确的,无论使用单层或多层蚀刻工艺。这使其成为生产用于液晶屏、CCD和MEMS等设备所需的错综复杂的阵列基板的理想选择。在安全性方面,TELINDY Oxide工具具有紧急断电(EPO)开关和紧急通风口资产。在紧急情况下,EPO开关将立即关闭模型,而通风口设备将疏散内部的空气和气体。该系统还设有加压反应室,减少泄漏或污染的可能性,同时确保稳定的反应环境。最后,TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide单元配备了用户友好型控制面板。这允许用户保存设置和程序,提高蚀刻速率,并复制蚀刻结果以快速开发产品。此外,该机器还配备了触摸屏液晶显示器和数据跟踪器,用于监控注射量、气体流量和压力自主性。总体而言,TEL TELINDY Oxide工具是一种先进的蚀刻器/asher资产,能够执行具有复杂多层结构的精确、高质量的蚀刻。它的传感器和监测系统保证用户不会遇到气体泄漏或污染等任何问题。此外,其用户友好的控制面板确保流程参数易于跟踪和编辑。
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