二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9253819 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide（常缩写为TEL Oxide）是一款最先进的干等离子体蚀刻器，来自业界领先的TOKYO ELECTRON和TEL/TOKYO ELECTRON ON ON。TEL氧化物是高精度金属氧化物蚀刻、氧化物灰化、表面清洁的理想工具。TOKYO ELECTRON OXIDE的独特之处在于它将等离子束准直在基板之前，产生氧气和其他反应性气体的均匀分布，从而形成一致的蚀刻轮廓。这使得TEL/TOKYO ELECTRON Oxide成为金属和金属氧化物蚀刻的最爱，需要深层、挥发性的蚀刻图样。TEL Oxide是简化蚀刻工艺的单室干蚀刻器。它使用单晶片工具蚀刻金属氧化物基板。它还使用一个远程淋浴头，允许倾斜入射蚀刻，并将蚀刻光束引导到需要增加蚀刻的区域。其特点包括集成电子平衡器，允许精确的过程控制。TOKYO ELECTRON OXIDE也有氧气与砷水平的自动调整，以可靠的操作和改进的工艺结果。此外，它还配备了防静电系统，对静电场提供了极大的防护。TEL/TOKYO ELECTRON OXIDE也有内置的温度控制和气体分配系统，这是等离子体蚀刻和氧化成功所必需的两个关键部件。温度控制系统有助于稳定温度以确保一致的蚀刻结果。气体分配系统确保了反应气体在整个腔室中均匀分布的最佳注入。此外,TEL Oxide还具有无与伦比的通用性,可跨越广泛的蚀刻工艺。它支持小型蚀刻应用程序（如MEM设备中使用的应用程序）,以及更大、更复杂的蚀刻应用程序（如薄膜晶体管和其他高端应用程序）。TOKYO ELECTRON OXIDE非常适合需要金属和金属氧化物基材可靠而强大的蚀刻能力的客户。这种最先进的干蚀刻器/灰烬提供了业界领先的特性和功能,是精密蚀刻和氧化的完美工具。