二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9282573 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide是一款高级蚀刻器/asher设备，设计用于高精度蚀刻和灰化应用。适用于多种行业，包括半导体、面板、平板显示器（FPD）、离散半导体、数据存储、MEMS、薄膜头制造。TEL TELINDY Oxide是一种多功能蚀刻器/asher系统,其设计具有改进的蚀刻/灰化精度和多功能性,可处理多种材料和复杂的图样。它能够蚀刻和粉刷各类氧化物、氮化物、聚酰亚胺和薄膜，用于先进的制造目的。该单元配备了最新技术，如实时粒子分析仪，以及专有的流量控制软件。这样可以确保整个晶片或基板表面的均匀蚀刻/灰化,即使在掩蔽需要多种深度的层时也是如此。机器包括多种蚀刻和灰化过程，包括"直"、"曲线"、"多堆栈"蚀刻/灰化。它具有从室温到900°C的可调温度范围和集成的超低压化学输送技术。这提供了对蚀刻/灰化过程的出色控制,并允许操作员精确地定制蚀刻/灰化过程,以适应不同应用程序的各个过程要求。该工具还包括多项安全功能，如自动排气调节资产、互锁安全门和紧急停止按钮。它采用全自动排气模式，积极调节排气流量，以维持理想的操作环境，而其集成的联锁安全门有助于防止任何未经授权的人进入机器。TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide为运营商提供直观且用户友好的图形界面（GUI）。GUI包含操作设备所需的所有信息,旨在轻松引导操作员完成蚀刻/灰化过程的所有阶段。这使操作员能够快速高效地配置系统以满足他们的需求和应用。总而言之，TELINDY Oxide为各种不同的行业提供了一个先进的蚀刻/asher单元。其高度的精确度和多功能性使得它非常适合蚀刻和粉刷复杂的图样和材料。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide凭借其直观的GUI、自动化的安全功能和可调节的温度控制,确保了所有蚀刻和灰化应用程序的可靠和一致的性能。