二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus A-M #9223290 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus A-M是一种用于半导体器件制造的蚀刻/asher设备。它是专为光致抗蚀剂剥离和蚀刻在IC制造过程中的应用而设计的，提供了对基板上特征的高效和精确的蚀刻。该系统由3轴X-Y级、机架升降机单元、平台和滚动转向器构成。运动驱动程序由伺服电动机提供动力,以实现更快、更平滑的运动。它还有一台附有PC的PLC机器,可以远程监控生产过程。X-Y级可以为蚀刻和剥离提供精确的图桉放置。利用其集成的双跟踪机制，用户可以精确扫描和跟踪X-Y方向的基板，以便在蚀刻前定位特征。该工具还配备了多种蚀刻/剥离源选择，包括以太网和臭氧源，从而实现更高的吞吐量和更高效的工艺。TEL TELINDY Plus A-M还具有完全封闭、最先进的腔室设计。不锈钢室降低了颗粒和其他污染的可能性，导致了更高质量、可重现的结果。该室配有20台车站精密机械，用于加强对蚀刻和剥离过程的控制。资产还有一个横截面成像模型和一个基板检验设备，允许实时监测蚀刻和剥离过程。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus A-M专为最高生产力和高功能性而设计。该系统具有集成的高度测量、高级运动控制以及减少运输和基板加载过程中误差的基板加载单元。它还具有多站点过程控制，易于处理，并提高了复制精度。此外，该机还配备了集成气体洗涤器，以提高安全性和控制系统的完全集成。最后，TELINDY Plus A-M是一种用于半导体器件制造的蚀刻/asher工具。该资产融合了先进的功能和技术，如3轴X-Y级、机架升降机模型、横截面成像设备和基板检查系统。它的高度测量单元，先进的运动控制，以及集成气体洗涤器允许更高效和准确的蚀刻/剥离过程。凭借其先进的设计和集成的功能，该机器为用户提供了一个可靠的IC制造过程解决方桉。