二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K #293597784 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K是一种蚀刻器或asher，用于各种薄膜沉积和加工技术。它主要用于半导体器件的制造。TEL TELINDY Plus ALD High-K配备了高度稳定且可重复的配方管理设备，允许在过程中重现。蚀刻器还具有低颗粒计数设计，确保清洁制造。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K是薄膜沉积蚀刻的综合系统。它具有高达1.3x10-6 Torr的真空兼容性，并具有多晶片批处理单元。该蚀刻器还配备了多室机，能够进行顺序处理和沉积技术，提高生产率和交付能力。该工具还包含多个源代码行。电感耦合等离子体（ICP）源线允许直接等离子体过程，如蚀刻、灰化和沉积。磁线源还具有反应性离子蚀刻（RIE）能力。该腔室有一个配方控制的可编程温度腔室，设计用于超高真空处理。该室还具有各种安全特性，如O2和H2传感器、反应室互锁资产、污染时生产停止等。该模型还具有数据记录设备，可以记录晶圆处理和沉积结果。TELINDY Plus ALD High-K是一个可靠的蚀刻系统，可以有效地整合到任何半导体器件生产线中。它是一种通用工具，可用于各种蚀刻、灰化等薄膜沉积任务。它具有强大的基础架构和安全功能,可确保清洁高效的生产。