二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K #293644138 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K是由TEL, Ltd开发的蚀刻器/asher。（TOKYO ELECTRON）.这种先进的蚀刻工具用于制造具有高精度的半导体器件。其先进的特点使其适合广泛的制造工艺，包括但不限于：形成高精度装置，包括沟槽、凹槽和结构；半导体晶片的等离子体蚀刻；高k介电材料的原子层沉积（ALD）。TEL TELINDY Plus ALD High-K是一种蚀刻器/asher,可精确控制蚀刻参数和工艺周期时间。利用磁控管溅射蚀刻源将反应性离子蚀刻（RIE）层沉积到晶圆表面。然后用可旋转阴极蚀刻此RIE层,以创建所需的结构。该蚀刻的确切深度是可以实现的，另外还有纳米范围内的几何控制。此外，TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K的电子设备优化了溅射过程本身的参数，实现了层制造的完美几何精度。电子设备还包括三个独立控制的源，允许一个最佳和可重复的过程流。该工具还可以用于高k介电材料的原子层沉积（ALD），因为它能够精确控制薄膜沉积。ALD工艺利用气态前体形成单层，而工具的交流电容耦合等离子体技术提高了层形成的精度。ALD工艺形成的层的总厚度可以由刀具准确确定，因此可以精确调整。TELINDY Plus ALD High-K在整个晶片表面上具有极好的重复性和均匀性。因此，该工具适用于晶片的制造和生产，其精度和效率均高于传统方法。利用这种蚀刻器/灰化器，半导体器件制造商能够在每一个周期生产出性能更好、产量最佳、质量更高、可靠的产品。