二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K #9128140 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K是一款为高级蚀刻和灰化工艺而设计的蚀刻器/asher。它是为低K氧化物、高K介电堆栈、线条/空间图桉等材料而设计的。它是一个完整的设备，结合了蚀刻和ashing与先进的过程控制，以实现更快，更精确的处理。TEL TELINDY Plus ALD High-K系统有一个独特的抛物面微炉装置，能够在高温条件下进行优化，提供高的蚀刻和灰化速率。该机还配备了先进的工艺控制，以确保更好的设备公差和可重复性。它具有多个自动进程定序器（APS），可用于快速编程所需的进程，并扩展工具的多功能性和灵活性。它还具有两个独立的、高灵敏度的石英晶体质量监测器和氧化还原（OR）蚀刻控制，以确保高工艺重复性和均匀性。该资产还具有先进的污染控制机制（CCM），以保持最高水平的晶圆清洁度。CME工艺是一套独特的专有技术,用于防止快速恢复并在此过程中保持高水平的等离子体清洁度。它还拥有专利开放管设计和气体淋浴，以尽量减少污染和化学品，同时提高工艺性能。该模型还具有高度集成的真空设备,包括高性能主泵、副泵、涡轮分子泵和真空开关阀,它们都是为高性能操作和最小污染而设计的。它还有一个自动化的原位粒子测量系统，可以监测、测量和记录加工区域各个位置的粒子大小。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K单元的设计目的是为先进的设备制造提供可靠、可重复的蚀刻和灰化。适用于两英寸及更大、蚀刻/ashing速度高达高速的较大直径，以及具有晶圆级高工艺重复性和器件耐受性的低K氧化物、高K介电堆栈和线空图桉。它具有独特的特点，是许多先进设备制造应用的理想蚀刻器/asher。