二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293609248 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD是一种用于微电子制造工艺的高精度电镀设备。它是两台机器的组合-一台预干蚀刻机和一台asher。蚀刻器使用自由基从底物中去除化学蚀刻材料以及蚀刻后残留物。这一过程有助于制备最佳沉积和镀层的基材。Asher还使用自由基在基材和被涂抹的材料之间形成紧密的键合，使其成为高层对层粘合的理想装置。TEL TELINDY Plus ALD可用于多种应用，包括电镀和物理气相沉积（PVD）。它能够同时蚀刻多层薄膜和材料。它配备了端点检测，用于对工艺进展和化学进行精确监测。该系统的初级加工室由不锈钢制成，设计为能有力地控制压力和温度。腔室在尺寸方面提供了灵活性，使操作员可以一次对多种基板进行电镀。此外，该室减少了粒子的产生，提供了一个无污染的环境。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD具有集成的安全功能以确保安全操作,包括压力开关、光学互锁传感器以及代码读取器和条形码支持。其用户界面提供了参数设置、图形指示器和板载指令的直观界面。此外,TELINDY Plus ALD还配备了控制整个蚀刻和沉积过程的高级控制系统（ACS）软件。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD旨在提供经济高效且可重复的结果。其高精度的蚀刻和灰化工艺达到了微电子元件的最佳尺寸。其流程监控能力提高准确性，降低整体风险。此外，其集成的安全装置、用户友好的界面和自动化软件使其成为微电子制造的理想蚀刻器和灰化器。