二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293638697 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD是由TEL （TE）设计的高度精密的蚀刻器/asher。它是为制造先进的微电子和光学元件而设计的最先进的设备。TEL TELINDY Plus ALD用奇异粒子激发原子，然后进行化学修饰。此过程将从芯片表面移除或"蚀刻"材料,然后再用于新的层构造。得到的薄膜可用于多种电子和光子应用。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD系统采用了几种先进的蚀刻/沉积技术。化学气相沉积（CVD）室是TELINDY的步骤之一。该腔室蒸发气相前体，并将反应性物质沉积到基质上，形成薄而均匀的薄膜。腔室配有高精度的百叶窗和滤镜，可以精确蚀刻所需的区域。电子束聚类工具可提供高分辨率、高纵横比和高密度材料的高分辨率图样。该工具将一束紧密的电子束撞击到基板上，然后引导电子蚀刻、形成或发展特征。物理气相沉积（PVD）室也是TELINDY Plus ALD技术的一部分。PVD用于构建垂直复杂的结构。该腔室包含蒸发源、屏蔽层和惰性大气，以将所需的物质沉积到基板上。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD也採用多种溅射技术来蚀刻、沉积和複製结构。这些技术采用一系列物理或化学溅射工艺在芯片上蚀刻、沉积和复制半导体级材料。TEL TELINDY Plus ALD 蚀刻器/asher是一款功能强大、精密的工艺工具。由于利用了最高精度的元件和工艺，制造出最先进的微电子和光子元件是最完美的蚀刻器/粉碎器。这台机器具有完整的蚀刻、沉积和溅射工艺，能够产生最优质的产品和效果。