二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293818326 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD（原子层沉积）是一种坚固的蚀刻设备,可为晶圆级和设备级应用程序提供一系列半导体处理功能。它高度集成了德加室、敏感器、负载锁、终端效应器机器人、多室淋浴头、反作用室和微型环境模块等广泛的组件。该系统用于材料沉积、反应性离子蚀刻、热退火和快速热退火等应用。TEL TELINDY Plus ALD在任何厚度的基板上提供卓越的蚀刻均匀性和出色的工艺可重复性,无论晶圆大小如何。该单元具有闭环温度控制能力，允许在临界蚀刻操作中精确控制温度。它提供了一个可以容纳大晶圆和大批量生产的大批量加工区。此外,其集成的多步骤蚀刻工艺为先进的制造工艺提供了更复杂的结构形成。除了强大的蚀刻能力外，TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD还提供了发达可靠的软件工具。它提供集成的配方管理器和开放式执行控制、集成的多步骤过程、实时炉床监控以及增强的气体输送监控。通过使用此工具,工艺工程师可以轻松地优化蚀刻工艺,从而在最短的停机时间内实现更高的吞吐量。TELINDY Plus ALD也被设计为提供高品质的蚀刻结果。它能够产生纳米级厚膜蚀刻工艺。此外，它还具有可选的高功率射频（RF）能量源，能够实现高速率蚀刻。该资产还配备了先进的激光控制精密基板蚀刻。此外，它还包括一个独特的变频控制器，使得多个不同的蚀刻频率可以统一操作。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD为任何晶圆级或设备级工艺提供了出色的蚀刻解决方桉。凭借其全面的软件工具和先进的处理能力,此模型为研究和制造提供了可靠而强大的蚀刻解决方桉。其精密蚀刻控制、高速率蚀刻工艺和高质量蚀刻结果使其成为任何行业级别应用的理想选择。