二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293818327 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD是一种为精密沉积用于集成电路制造的薄膜而设计的蚀刻器/asher。它使用原子层沉积（ALD）来创建2-50 nm范围内保形尺寸的薄膜。这允许创建具有精确尺寸和非常高保形性的结构。TEL TELINDY Plus ALD具有低压、低温的工艺室和先进的自动化/控制设备。腔室本身是一个温度和压力控制的真空系统，以确保适当的蚀刻和沉积。设置自动化控制单元，以监测和控制ALD工艺的温度、压力、气流、沉积速率等各种参数。为确保对ALD工艺的精确控制，TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD配备了自动气体输送机，可以精确控制反应气体的流动。此外，该工具还具有模具资产，其设计目的是提供最佳的ALD工艺，无论基板的形状和尺寸如何。该工具设计为同时使用手动和自动化过程。这样就可以使用包括硅、石英和玻璃在内的多种基板。TELINDY Plus ALD还具有先进的晶圆传感和跟踪模型,用于精确的薄膜轮廓控制。该设备与其它工艺参数结合，控制沉积速率和薄膜厚度。晶圆跟踪系统还允许对光刻胶加工和掩模对准进行精细控制。在安全方面，TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD的设计功能是对人员或设备的伤害风险最小。它具有内置的安全功能,如芯片/晶片处理时间限制和压力限制,以防压力意外增加。此外，机组还配备了真空互锁机，以确保事故发生时的安全。总体而言,TEL TELINDY Plus ALD是一款高级蚀刻器/灰化器,具有许多专门为原子层沉积（ALD）应用程序设计的功能、过程和安全协议。它提供了2-50 nm范围内保形尺寸的薄膜的精确沉积、自动气体输送工具、模具资产、晶圆感测和跟踪模型以及安全特性。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD是制造集成电路和其他电子元件的绝佳设备。