二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293818328 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD（原子层沉积）是一种精密粉碎机，通常用于合成金属、氧化物、氮化物等材料的薄膜。这种蚀刻器主要用于纳米技术和微电子应用，其制造高质量纳米厚涂层的能力往往非常有利。TEL TELINDY Plus ALD通过在底物表面上连续气相化学反应的过程工作，导致对膜厚度和均匀性的控制大大提高。此过程允许创建针对特定应用程序定制的复杂3维结构。典型的系统设置包括两个源模块,一个送货室和一个基板支架.TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD系统中的源模块包含一个入口、一个反作用室、流量控制阀和温度/压力传感器。每个模块最多可容纳32种化学品，可独立操作，用于同时进行的多工艺应用。输送室用于控制反应物气体，并将其移动到底物上。该腔室配有质量流量控制器、真空计和一系列气体挡板，有助于确保工艺气体以正确的压力和均匀性到达基板。基板架允许精确控制基板的温度，并且可以在Z平面上移动，使得两侧的样品涂层成为可能。样品支架一般由嵌入式加热器加热，具有隔热作用，以最大程度地减少温度损失。通过控制前体化合物的同时输送，TELINDY Plus ALD可以用极均匀的单层厚膜覆盖样品。当这些前体分子在表面上相互反应，导致产生极薄、高度均匀的涂层时，这个过程就完成了。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD蚀刻器是一种精确可靠的工具，使用户可以用精确、纳米厚的薄膜涂覆多种底物。通过对工艺变量的精确控制和涂层的高均匀性，该蚀刻器提供了精确的结果。该设备最适合需要精确和均匀层的纳米加工应用。