二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #9285008 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD是一种专门为薄膜沉积而设计的蚀刻器/asher,用于生产包括半导体器件、几种光学应用的薄膜和磁性材料在内的多种产品。该设备基于"纯气体"原子层沉积(ALD)技术的改进版本,这是一种高度精确和可重复的沉积工艺。精确控制薄膜厚度的能力是ALD工艺的主要优点之一。TEL TELINDY Plus ALD系统设有真空室、沉积源、废气管线、供气单元、电机、机械工具和安全装置。真空室是为沉积过程而设计的,可以处理多种材料。沉积源采用高精度微米头和精确压力计控制沉积的暴露时间和持续时间。废气管线用于操作过程中安全处置产生的气体。供气资产为ALD工艺提供了必要的气体流动,电气模型为设备提供了一切必要的电力。机械系统由一系列电机和阀门组成,可调节沉积源和废气管线等部件的位置和运行。装置中安装的安全装置有助于在机器发生故障或潜在危险时保护人员和设备。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD工具在薄膜沉积方面有几个优点。资产有助于确保材料的均匀沉积,从而提高准确性和可重复性。此外,通过控制沉积循环,可以沉积厚度非常具体的薄膜。这对于需要精确装配薄膜的应用可能是有益的。最后,该模型提高了沉积过程的效率,提高了沉积时间,降低了成本。总体而言,TELINDY Plus ALD是一种专门为高精度和可重复沉积薄膜而设计的蚀刻器/asher。它比传统沉积技术有几个优点,包括提高精度和可重复性,精确控制沉积循环,提高效率。这使得它成为需要薄膜的应用的理想选择。
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