二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus anneal #293638716 待售

TEL TELINDY Plus退火（TOKYO ELECTRON/TE Tangential Etcher/Asher）是一种高精度的蚀刻/灰化装置，用于消除纳米级底物上残留的光致抗蚀剂。主要用于半导体、MEMS等微电子产业的应用。该单元配备了具有大容量液晶触摸面板的先进TELINDY Plus控制器。这使用户能够精确配置许多进程参数。这种控制器可以方便地设置和校准化学蚀刻时间和浓度，以及控制化学罐内的温度和压力，这可以设置为以最佳效率执行。TEL/TOKYO ELECTRON/TE切线蚀刻器/Asher利用先进技术,在降低材料损耗的同时提供卓越的化学蚀刻速率。这样可以非常精确地蚀刻细小的地沟、线条和触点等细微的特征。该单元还提供一致的均匀蚀刻结果，具有高度的可重复性。适用于湿蚀刻工艺，如RIE、ECR、ICP蚀刻，以及干蚀刻工艺，如DRIE、ECR-DRIE、ECR-ICP蚀刻。它还能够应用退火处理，以帮助改善过程中晶片上生长的材料的附着力。该机组还配备了先进的Pol-Pol洗涤器设备。这通过从罐中回收化学物质并将其重新循环，减少了蚀刻过程中产生的废物。此外，TEL/TE切线蚀刻器/Asher包括冷却系统，冷却化学溷合物以提高操作安全性，并有助于防止化学分解。TOKYO ELECTRON/TE切线蚀刻器/Asher有一个单独的真空单元，这对于消除蒸气蚀刻等不良过程很有用。它还具有涡流传感器，能够检测蚀刻过程中的基板，准确测量蚀刻深度。此精度有助于确保一致的结果并提高工艺产量。此外，该单元还配备了一个机载报警机，用于警告任何故障。总之，TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus退火（TEL/TE Tangential Etcher/Asher）是一种高性能蚀刻/灰化工具，旨在提供对关键工艺参数和优异蚀刻速率的精确控制。凭借其先进的技术，它能够蚀刻各种各样的基材和材料，其内置机制有助于减少废物产生和提高结果质量。