二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M #293778314 待售
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ID: 293778314
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Vertical furnace, 12"
Robot handler system
Wafer type: Si
Process: HFO / HFSiOX
Temperature range: 200°C to 600°C
Tube
Chamber
CIM: SECS
FOUP Interface
Power supply: 480V, 3 Phase / 208 V, Single phase
2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M是一款为高性能半导体制造工艺而设计的先进蚀刻/asher设备。该系统结合了尖端技术,以满足先进半导体器件的严格要求。TEL TELINDY PLUS-B-M提供卓越的工艺一致性、生产率和可靠性,使其成为制造下一代集成电路的理想解决方桉。TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M的关键特性之一是其先进的过程控制能力。该装置配有高度精密的控制机器,可确保精确和可重复的蚀刻/灰化过程。此控制级别对于实现严格的过程公差和保持一致的设备性能至关重要。该工具还提供实时监控和反馈机制,以优化流程参数并确保最佳性能。TELINDY PLUS-B-M的另一个显着特点是其高吞吐量能力。该资产专为大批量制造环境而设计,能够每小时处理大量基材。这种高吞吐量是通过优化的流程配方、高效的晶圆处理机制和先进的自动化功能实现的,这些功能最大程度地减少了停机时间并最大限度地提高了生产效率。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M还提供了整个晶圆表面的卓越工艺均匀性。这对于确保整个晶片的设备性能和产量一致至关重要。该模型采用先进的等离子体控制技术,在晶圆上实现均匀的蚀刻/灰化速率和薄膜厚度,从而实现了高质量的器件制造。除了性能外,TEL TELINDY PLUS-B-M还设计了操作灵活性和易用性。该设备具有方便用户的界面,使操作员能够轻松地设置和监控流程参数。该系统还提供了可自定义的流程配方,可针对特定设备需求进行优化,从而为流程开发和优化提供了高度的灵活性。TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M还配备了先进的安全功能,以保证操作员和环境的保护。该股包括全面的安全联锁、气体检测系统和紧急关闭机制,以防止事故和减轻与危险材料和过程有关的风险。总体而言,TELINDY PLUS-B-M是一台最先进的蚀刻/asher机器,可为高级半导体制造应用程序提供高性能、可靠性和生产率。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M具有先进的工艺控制、高吞吐量、卓越的工艺均匀性和操作灵活性,是领先的半导体制造商的理想解决方桉,希望获得最高的设备性能和产量。
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