二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus High-K #9253810 待售
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已售出
ID: 9253810
优质的: 2014
Furnace
Wafers: 100
Pressure control: APC Valve
Process gas:
AMPLE System: NxTi
TMA: F.S 500 Sccm
O3: F.S 20 Slm, 200 g/m3
N2
Octane
Vaporizer:
STEC (TMA, NXTi)
LSC-F530 (TMA)
STEC Z500 Series MFC (Mass Flow Controller)
Process temperature: 200° to 300°
2014 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus High-K是一种蚀刻器/asher,用于生产和维护电子元件。它专为高K工艺技术而设计,能够在最先进的集成电路设计中产生和维护最关键的特性。TEL TELINDY Plus High-K具有独特的双等离子体技术,让设备提供更均匀的蚀刻图桉。其高功率、高频等离子发生器提供稳定可靠的蚀刻性能,适用于高K器件结构的生产和维护。此外,蚀刻器还配备了集成控制器,提供改进的工艺稳定性和先进的集成特性,以确保精密蚀刻操作。该系统具有针对流程可扩展性进行优化的设计,能够支持各种晶圆尺寸。它还提供了广泛的基材材料,包括铝、多晶硅、砷化氙、氧化锡、绝缘体上硅和深沟,使得蚀刻机适合所有涉及高K工艺的工作。它还具有简单、直观的用户界面,允许您通过简单的拖放来配置设备。该机还配备了先进的安全功能,允许操作员在所有关键步骤中安全,包括装载过程,以及可靠的维护和工具升级。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus High-K提供最新的蚀刻技术。其高效可靠的操作使其成为最先进的高K工艺应用的理想选择,并为底物兼容性和工艺可扩展性提供了全面的多功能性。其直观的用户界面和先进的安全功能使其成为满足您所有生产和维护需求的宝贵资产。
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