二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus IRAD Oxide #293822431 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus IRAD Oxide是一款高级蚀刻器/asher，设计用于提供多种材料的高性能等离子体蚀刻。该设备利用电感耦合等离子体（ICP）源创建了一种高密度等离子体,能够以高速和低热预算处理各种底物,包括SiN、聚酰亚胺、TiN、SiO2和SiON。该系统还具有先进的计算机控制功能,包括可编程端点检测（EPD）算法,以确保跨多种基板类型的一致蚀刻过程参数。TEL TELINDY Plus IRAD氧化物具有微波功率控制单元，可直接调制ICP和RF功率水平，以精确控制等离子体密度和蚀刻持续时间。这确保了精确控制的蚀刻,每小时最大吞吐量可达180种基材,使其成为高效的解决方桉。蚀刻室融合了大量涡轮泵和一个整体涡轮泵旁路，允许快速的过程intels循环时间。此外,它还采用集成晶圆冷却机来最大程度地减少热损坏并保持蚀刻精度。TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS IRAD Oxide能够蚀刻各种厚度和材料，包括金属、氮化物、氧化物、塑料和聚合物。高级编程/诊断功能支持对蚀刻过程进行远程监视和自动优化,从而确保最大限度的生产效率。此外，该工具与包括N2、Ar、O2和SF6在内的多种气体兼容，允许各种蚀刻能力。蚀刻配方存储起来便于召回和可重复性，可以与TELINDY控制器软件链接以进一步定制。总体而言,TELINDY Plus IRAD Oxide是一款功能强大的蚀刻器/灰化器,旨在为各种基材提供快速、一致和精确的蚀刻。它的高级功能和自动化编程功能确保了高质量、可重复的蚀刻结果,每小时高达180个晶圆。