二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Oxide #293638902 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Oxide Etcher/asher被设计为以低成本提供集成电路基板的高精度批处理。这种氧化物蚀刻器的设计重点是提供当今最先进的基材和技术所需的高性能和准确性。氧化物蚀刻器配备了先进的控制设备，可重复可靠的处理。所有参数都易于编程和监控,以确保最高质量的输出。该系统的特点是在加工过程中实时显示基板温度，提供基板实际温度的反馈，可用于调整过程。此外,获得TEL专利的压力扫描设计允许进行高级温度控制,从而无需冷却设备。氧化物蚀刻器利用先进的集成过程控制,如氧化直流等离子体、蚀刻、灰化和光激/等离子体清洁循环,使其成为高产量基材加工的理想选择。除此以外，该单元在一个站内进行蚀刻、清洁和干燥，不需要手动处理基板。氧化物蚀刻器的先进气体机控制流量，并保证高质量的处理与各种不同的基材。氧化物蚀刻器坚固的构造保证了它能够承受工业加工的恶劣环境，同时提高了工艺安全系数，以确保尽可能高的底物纯度。用户友好的GUI界面使该工具易于编程和监视,同时允许快速高效地执行流程更改。氧化物蚀刻器是一种紧凑的设计,适合任何洁净的房间或实验室环境,先进的安全功能使其成为生产环境中使用的理想资产。这种氧化物蚀刻器可提供高产率、提高精度和高通量,使其成为大批量制造的理想选择。