二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #293640860 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus是一种用于制造半导体及相关器件的蚀刻器/asher设备。该系统用于金属层、氧化物层和其他材料的干蚀刻。它是用于半导体加工的最先进的干蚀刻器/灰化器，提供了广泛的技术，如等离子体蚀刻、化学蚀刻、反应性离子蚀刻（RIE）、感应耦合等离子体（ICP）蚀刻，以及可与湿化学蚀刻结合使用的金属蚀刻。TEL TELINDY Plus单元是一款具有完全自动化功能的定制机器，可以轻松适应特殊的流程要求。它使用模块化工具体系结构来最大化其功能的潜力。该资产旨在确保低停机时间并提供流程一致性。其用户友好的控制模型具有远程监视和控制功能,允许用户从本地或远程位置监视进程。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus设备能够处理各种材料，如金属、氧化物、聚合物、氮化物和电介质。该系统适用于工艺开发和大批量生产，具有闭环工艺，可以测量工艺运行过程中的蚀刻速率并相应调整工艺参数。该单元还具有可调基板温度控制器，用于控制蚀刻工艺温度。该机配备了多种工艺特种部件，以满足各种蚀刻要求。它包括高压和低温蚀刻工具、深层反应性离子蚀刻资产、深层通过模型、溅射设备、离子植入设备和基板前后计量系统等功能。所有这些系统都旨在确保最高的流程可重复性,并提供轻松的设置、操作和维护。除蚀刻工艺外，TELINDY Plus单元还提供其他几项服务，如升华、溅射、前后计量、离子植入物、湿化学蚀刻和无损热处理。它是一种高度通用的机器，可用于各种半导体应用和工艺。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus工具是一种可靠的、高收益的干式蚀刻器/asher资产，为满足最苛刻的环境和工艺要求而建造。它的模块化模型体系结构为用户提供了广泛的半导体处理功能,并使他们能够根据自己的特定需求定制设备。